KYKY leiutas Hiinas esimese turbomolekulaarpumba, kaubandusliku heeliumilekke ja skaneeriva elektronmikroskoobi komplekti.
1970ndatel töötas KYKY, SEM filiaal KYKY edukalt välja Hiinas esimese skaneeriva elektronmikroskoobi.
Pihustuskatja SEM proovide ettevalmistamiseks, mittejuhtiv proovide eeltöötlus.
Keskmine gaas: õhk või argoon, argooni sisselaskeava ja õhu täispuhumise mikroregulaatoriga. Kohandatud on saadaval (näiteks katte paksuse mõõturiga)
Eelised:
väike suurus; kasutajasõbralik töö; kohandatud enamiku metallmärkidega; Argoonirežiim on saadaval.
Spetsifikatsioonid:
Töökambri läbimõõt: | 75-150 mm |
Vaakumsüsteem | Pöördpump evakueerimiseks, 2L/s |
Hoiustamise määr: | 2-10 nm/min |
Võimsus: | 220V/50Hz |
Klaasi töötlemise kamber | ∮ 100 mm; 130 mm kõrge. |
Proovi lava suurus: | ∮40mm (hoidke 6 proovitopsi) |
Kuldne sihtmärgi suurus: | ∮58mm*0,12mm (paksus) |
Vaakumi tuvastamine: | Pirani näidik |
Vaakumkaitse: | 20 pa mikroskaala täispuhkeventiiliga |
Keskmine gaas: | Argoon või argoongaasiga õhk, spetsiaalne õhu sisselaskeava ja gaasi reguleerimine mikroskaalas. |
Rakendused:
Valmis näidis skaneeriva elektroni jaoks (pritsimisvõimeline, kuldne. Hõbe, vask, titaan ja alumiinium)