Magnetiliselt levitatud pump, CXF-200/1401E, vesijahutus, pardal

Lühike kirjeldus:

Elektromagnetilist laagrit nimetatakse ka "aktiivseks magnetiliseks levitaarkaruks", mis koosneb magnetlaagrist, andurist ja juhtimissüsteemist. Sellel konstruktsioonil on dünaamiline reaktsioon ja õigeaegne reguleerimine, kiire võll ja usaldusväärne töö.


Toote üksikasjad

Toote sildid

Magnetiliselt levitatud molekulaarsed pumbad on need pumbad, mille võlli toetab magnetiline jõud.
Seeria magnetiliselt levitatud molekulaarsed pumbad on KYKY poolt välja töötatud vaakumtootmisseadmed, mis vastavad tänapäevaste pooljuhtide tootmise, kiibitootmise, tööstusliku plaadistuse ja teadusinstrumentide valdkonna nõuetele.

Tehnoloogiad:

  • Magnetlaagri juhtimistehnoloogia: Vastuvõetud elektromagnetiline on magnetiliselt levitatud 5-teljeline. Sellel konstruktsioonil võib olla dünaamiline reageerimine ja õigeaegne reguleerimine dünaamilise aktiivse suletud ahelaga magnetilise vedrustuse juhtimistehnoloogia abil, mis põhineb arenenud rahvusvahelisel juhtimisteoorial, et tagada kiirete võllide sellised olulised eelised nagu stabiilne levitamine ja usaldusväärne töö.
  • Mootori ajamitehnoloogia: Suure efektiivsusega kiiret alalisvoolumootorit ja servojuhtimissüsteemi rakendatakse seeria magnetiliselt levitatud pumpadele, et tagada mootori maksimaalne energia ja kompenseerida võlli pöörlemiskiirus automaatselt, tagades sellega stabiilse käivitamise, usaldusväärse töö ja automaatse reguleerimise dünaamilise energia funktsioon.
  • Süsinikkiust komposiitrootori tehnoloogia: Järjestikuste magnetilise vedrustusega molekulaarpumpade turbo rootorid on valmistatud ülitugevast alumiiniumisulamist ja kergest süsinikkiust. Võrreldes kõigi alumiiniumisulamist rootoritega iseloomustab turbo rootoreid suur kaalukaotus ja tugevuse paranemine, nii et saavutatakse suure pöörlemiskiiruse, suure jõudluse ja suure töökindluse eesmärgid.
  • Korrosioonikindel tehnoloogia: Seeriamagnetilise suspensiooniga molekulaarpumpade osade pindu töödeldakse spetsiaalse protsessiga, nii et pinnad suudavad pooljuhtide tootmisprotsessides söövitavate gaaside põhjustatud korrosiooni suhtes pikka aega vastu pidada. Lisaks on sellised inertgaasid nagu N2 täidetud pumpade võlliga täielikult, et kaitsta pumbades vähese vaakumiga osi, nii et pikaajalise stabiilselt söövitavate gaaside ärajuhtimise funktsioon on tagatud.
  • Kütte temperatuuri juhtimissüsteem: Seeria magnetiliselt levitatud molekulaarsed pumbad on varustatud elektrikütteseadme ja temperatuuriregulaatoriga, nii et jahutusvett, õhk-kondiküte, elektriküte ja kaitsegaaside soojust saab töö ajal jälgida ja juhtida, pumbade temperatuuri saab hoida teatud väärtus on pikaajaline, mõningaid gaasilisi aineid ei muudeta normaaltemperatuuril tahketeks aineteks ega ladestata pumbadesse ning on võimalik täita nõudeid eriprotsessile, näiteks söövitamisele.

Eelised:

1. Null hõõrdumine töö ajal ja väike energiatarve

2. Lihtne omandada tõeliselt puhas kõrgvaakum ja ülikõrge vaakum ilma pumpade määrimiseta

3. võimeline pikaajaliselt söövitavaid gaase eraldama

4. Kõrge ohutus ja pikk kasutusiga tänu laagrite kaitsele täpsete keraamiliste kuulidega

5. toitefunktsioon äkilise väljalülituse korral

Spetsifikatsioonid:

Mudel CXF-200/1401E
Pumba kiirus (l/s, õhk) 1400
Tihendussuhe > 1 × 107
Ülim vaakum (Pa) ≤2 × 10-6
Sisselaske äärik DN200 ISO F
DN200 ISO CF
Väljalaske äärik KF 40
Pöörlemiskiirus (p / min) 33000
Tööaeg (min) 6
VIB (mm) <0,05
Tagatipump (L/s) 15
Paigaldamine või suunamine Mis tahes
Jahutusmeetod Vesi
Kaal (kg) (koos kontrolleriga) 51

Rakendused:

Seeria magnetiliselt levitatud molekulaarseid pumbasid kasutatakse peamiselt pooljuhtide tootmise, klambrite tootmise, tööstusliku plaatimise ja teadusinstrumentide valdkondades, eriti söövitus-, CVD-, PVD- ja ioonimplanteerimisel esinevate söövitavate gaaside ning normaaltemperatuuril kergesti hüübivate gaaside ekstraheerimiseks.


  • Eelmine:
  • Järgmine:

  • Kirjutage oma sõnum siia ja saatke see meile

    Toote kategooriad