Magnetiliselt levitatud pump, CXF-320/3001E, vesijahutus, ISO-F, pardal

Lühike kirjeldus:

Elektromagnetilist laagrit nimetatakse ka "aktiivseks magnetiliseks levitaarkaruks", mis koosneb magnetlaagrist, andurist ja juhtimissüsteemist. Sellel konstruktsioonil on dünaamiline reaktsioon ja õigeaegne reguleerimine, kiire võll ja usaldusväärne töö.


Toote üksikasjad

Toote sildid

Magnetiliselt levitatud molekulaarsed pumbad on need pumbad, mille võlli toetab magnetiline jõud.
Seeria magnetiliselt levitatud molekulaarsed pumbad on KYKY poolt välja töötatud vaakumtootmisseadmed, mis vastavad tänapäevaste pooljuhtide tootmise, kiibitootmise, tööstusliku plaadistuse ja teadusinstrumentide valdkonna nõuetele.

Eelised:

1. Nullhõõrdumine töö ajal ja väike energiatarve
2. Lihtne omandada tõeliselt puhas kõrg- ja ülikõrgvaakum ilma pumpade määrimiseta
3. on võimeline pikaajaliselt eraldama söövitavaid gaase
4. Kõrge ohutus ja pikk kasutusiga tänu laagrite kaitsele täppiskeraamiliste kuulidega
5. elektritootmisfunktsioon äkilise väljalülituse korral
6. Hõõrdumisvaba
7. Saastevaba
8. Hooldusvaba
9. Madal vibratsioon
10. paigaldatud mis tahes suunas.

Rakendused:

Seeria magnetiliselt levitatud molekulaarseid pumbasid kasutatakse peamiselt pooljuhtide tootmise, klambrite tootmise, tööstusliku plaatimise ja teadusinstrumentide valdkondades, eriti söövitus-, CVD-, PVD- ja ioonimplanteerimisel esinevate söövitavate gaaside ning normaaltemperatuuril kergesti hüübivate gaaside ekstraheerimiseks.

Spetsifikatsioonid:

Mudel CXF-320/3001E
Pumba kiirus (l/s, õhk) 3200
Tihendussuhe > 1 × 108
Ülim vaakum (Pa) ≤5 × 10-7
Sisselaske äärik ISO-F 320
Väljalaske äärik KF 40
Pöörlemiskiirus (p / min) 24000
Tööaeg (min) 12
VIB (mm) <0,05
Tagatipump (L/s) 15
Paigaldamine või suunamine Mis tahes
Jahutusmeetod Vesi
Kaal (kg) (koos kontrolleriga) 75

Tehnoloogiad:

  • Magnetlaagri juhtimistehnoloogia: täiustatud rahvusvahelisel juhtimisteoorial põhinev 5-teljeline magnetiliselt leviteeritud, et tagada kiiretel võllidel sellised olulised eelised nagu stabiilne levitatsioon ja usaldusväärne töö.
  • Mootori ajamitehnoloogia: Suure efektiivsusega kiire alalisvoolumootor ja servojuhtimissüsteem, millel on mootori maksimaalne energia ja mis kompenseerib automaatselt võlli pöörlemiskiiruse, tagades sellega stabiilse käivitamise, usaldusväärse töö ja dünaamilise energia automaatse reguleerimise funktsiooni.
  • Süsinikkiust komposiitrootori tehnoloogia: Valmistatud ülitugevast alumiiniumisulamist ja kergest süsinikkiust. mida iseloomustab suur kaalukaotus ja tugevuse paranemine, nii et saavutatakse suure pöörlemiskiiruse, suure jõudluse ja suure töökindluse eesmärgid.
  • Korrosioonikindel tehnoloogia: Kambrite osade pindu töödeldakse spetsiaalse protsessiga, nii et pinnad suudavad pikka aega vastu pidada pooljuhtide tootmisprotsessides söövitavate gaaside põhjustatud korrosioonile. Lisaks on inertgaasid nagu N2 täidetud pumpade võlliga täielikult, et kaitsta pumbade madala vaakumiga osi, nii et pika aja jooksul stabiilselt väljatõrjuvate söövitavate gaaside funktsioon realiseerub.
  • Kütte temperatuuri juhtimissüsteem: varustatud elektrikütteseadme ja temperatuuriregulaatoriga, jahutusvesi, õhk-kondiküte, elektriküte ja kaitsegaaside soojust saab töö ajal jälgida ja juhtida, pumbade temperatuuri saab teatud aja jooksul teatud aja jooksul hoida, mõned gaasilised aineid ei muundata normaaltemperatuuril tahketeks aineteks ega ladestata pumbadesse ning eriprotsessi, näiteks söövitamise, nõuded on täidetud.

  • Eelmine:
  • Järgmine:

  • Kirjutage oma sõnum siia ja saatke see meile

    Toote kategooriad