Eelised:
Selle seeria pumbad töötavad hästi karmides keskkonnatingimustes (kõrge temperatuur, tolm jne), on stabiilsed ja pika kasutusea ning lihtsa hoolduse ja mugava kasutamisega.
Rakendused:
Peamised rakendused on tööstusliku lekke tuvastamise, PVD, CVD, ioonide implanteerimise, vaakum-elektroonikakomponentide tootmise, madala E-klaasi, ITO-klaasi, optilise katte, päikesepatareide, elektronkiire keevitamise, vaakumahju ja muude tööstusharude jaoks
Spetsifikatsioonid:
Äärik (sisse) | DN400 ISO-K | Gaas kogu (sccm) | N25500 : |
Äärik (Väljas) KF | DN100 | Ta on 4000 : | |
Pumpamiskiirus (L/s) | N23500 : | H23200 : | |
Ta maksab 2650 | 2100 : | ||
H21280 : | Pöörlemiskiirus (p / min) | 13500 | |
3200 : | Käivitusaeg (min) | ≤18 | |
Tihendussuhe | N2: 108 | Jahutustüüp, standardne | Vesi |
Ta : 103 | Jahutusvee tarbimine (L/min) | ≥1 | |
H2: 102 | Jahutusvee temperatuur (℃ | ≤25 | |
Ar : 108 | Toiteühendus: pinge (V AC) | DC24/AC220 | |
Ülim rõhk (Pa) | 6 × 10-6 | Max. Energiatarve (W) | ≤1100 |
Max Pidev eelvaakumi rõhk (Pa) | 100 | Kontrolleri mudel | FD-III |
Max Vaakum-rõhk | N2300 : | Kaal (kg) | 130 |